半導体に欠かせない部品、シリコンウエハーについて解説
シリコンウエハーは半導体の基板でいたるところに使われています
シリコンウエハーは半導体の基板に用いられており、最近では半導体を利用した機器は非常に多くなっています。
簡単に言えば、単純に電気式とか機械式の機器ではなく、いわゆる電子機器と呼ばれるようなものは全てシリコンウエハーが原材料になっているのです。
ちょっと挙げてみるだけでも、パソコンやスマートホン、タブレットなどの情報通信機器は当然として、テレビやDVDデッキも電子回路を有しています。
パソコン関連製品のWifi、マウス、外付けハードディスクも当てはまります。
というか、家電製品も多くは今や電子回路が組み込まれており、エアコン、冷蔵庫、電子レンジもそうです。
このように身近にあるものが非常に多く、逆にいうと今では単に電気回路だけで動いている機器や、機械式の装置を挙げるほうが難しいのかもしれません。
自転車であっても電動アシスト機能があればここに含まれますし、現代の自動車は電子機器の塊だということもできるのです。
シリコンウエハーは日本が世界に誇る鏡面研磨技術
シリコンウエハーは、あらゆる電子機器に使用されているものになり、半導体の製造にかかすことができないものです。
シリコンウエハーは、表面を鏡状に磨きあげることによって、より高性能な電子機器を製造することができます。
シリコンウエハーは、世界中にあるあらゆる物質の中でも、高い平坦度を誇っているものになり、細かい凹凸や粒子などを限界まで磨き上げて排除することで、鏡状の表面することができる非常に高い研磨技術になります。
シリコンウエハーの元となる単結晶インゴットを直径が均一になるように外周を研削していき、厚さ1ミリメートルまでスライスしていきウェーハ状にしていきます。
ウェーハの両面を平行になるように整えながらアルミナ研磨剤でラッピングします。
工程でできる機械加工のダメージを取り除くためにエッチングをおこなって、表面の凹凸をなくすために、コロイダルシリカ液などを用いて、ミカノケミカル研磨技術で平坦度の高い鏡状に磨きあげていきます。